拓荊科技取得半導(dǎo)體薄膜制造裝置和方法專利，可實(shí)現(xiàn)一種制造半導(dǎo)體薄膜的裝置和方法
2023-12-01 15:14
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2023年12月1日，拓荊科技(688072)股份有限公司獲得一項(xiàng)關(guān)于制造半導(dǎo)體薄膜的裝置和方法的專利，授權(quán)公告號(hào)為CN114686849B，申請(qǐng)日期為2020年12月。該裝置包括腔室、噴淋板、晶圓承載盤(pán)體和抽氣部件。
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